半导体洁净室整条产业链分为：洁净室EPC总包（厂房整体建造，弹性最大）、洁净空气设备、高纯流体/厂务配套、过滤滤材耗材四类，下面按赛道整理核心标的。 一、洁净室EPC工程总包（晶圆/封测厂房整体设计、施工、调试） 1.亚翔集成（603929）【高端先进制程龙头】 台资技术，A股半导体洁净业务纯度最高（半导体占营收75%+） 国内少数可交付ISOClass1级洁净室，适配3nm/EUV先进产线，AMC分子污染控制技术领先 客户：台积电、中芯国际、长鑫、长江存储、三星、美光；海外高毛利订单占比70% 优势：单项目体量几十亿，净利率行业最高，海外建厂持续放量 2.圣晖集成（603163）【台积电全球配套】 台湾圣晖旗下，台积电海内外建厂核心洁净室服务商，深耕东南亚、美国新建晶圆厂 主打洁净机电系统集成、二次配工程，适配IC、第三代半导体、高阶封测厂房 半导体业务占营收60%，海外订单增速行业第一 3.柏诚股份（601133）【内资晶圆厂中军龙头】 纯正内资总包，国内12寸晶圆洁净室市占领先，长鑫存储战略核心供应商 覆盖晶圆制造、存储、先进封装全链条，国资晶圆厂主力承建方，机构重仓标的，订单充足、业绩稳健 4.太极实业（600667）子公司十一科技【国家队综合工程龙头】 十一科技拥有工程设计综合甲级资质，国内大量12寸晶圆、存储基地设计总包 绑定中芯、长鑫、长存、SK海力士，可承接超大型晶圆产业园，同时配套光伏洁净工程；叠加自有封测业务协同 特点：项目体量极大、在手订单充沛，但毛利率低于台系集成商 5.深桑达A（000032）中电二、中电四【央企洁净工程平台】 中国电子旗下国家队，国内国资芯片厂房主力总包，承接大型存储、逻辑晶圆项目 资金、央企资源优势强，适配各地政府芯片产业园基建项目 6.华康股份（301235） 传统医疗净化为主，2026年快速切入半导体洁净室EPC，电子洁净订单高速增长，第二成长曲线。 二、洁净室核心空气净化设备（FFU、过滤器、洁净空调） 1.美埃科技（688376）【洁净过滤设备绝对龙头】 半导体FFU（风机过滤单元，洁净室核心设备）国内市占约30%，国内第一 产品：ULPA超高效过滤器、化学过滤器、FFU机组，满足7/5/3nm产线0.1μm过滤要求 客户覆盖中芯、长鑫、台积电、京东方，耗材持续复购，现金流稳定 2.创元科技（000551）江苏苏净 老牌国产洁净设备厂商，全套洁净空调、过滤器、层流罩，产品进入台积电、中芯供应链，国产洁净设备老牌国企。 三、洁净室厂务配套系统（高纯流体、废气、温控、二次配） 1.盛剑环境（603324）【半导体废气+AMC治理龙头】 不做厂房土建，专注洁净室配套：工艺废气处理、精密温控、真空系统、分子污染治理 先进制程刚需，适配EUV产线微量污染物管控，股性活跃，绑定头部晶圆、封测厂 2.至纯科技（603690） 高纯化学品输送系统、湿法清洗设备，洁净车间超高纯液体管路核心供应商，覆盖14nm及以下制程。 3.正帆科技（688596） 超高纯特气输送、真空系统、厂务二次配，洁净室气体管路核心配套，国产替代空间大。 4.新莱应材（300260） 高纯EP不锈钢管道、阀门、管件，洁净室流体管路核心耗材，半导体/生物医药双赛道。 四、上游滤材、洁净耗材原材料 再升科技（603601） 高性能玻璃纤维滤纸，HEPA/ULPA过滤器核心原材料，国内少数可量产超高效过滤玻纤材料企业，供给美埃等设备厂商。 |
