华海清科(688120)第1000台CMP装备出机 华海清科(688120)4月8日公告，近日，公司第1000台CMP装备正式出机并发往国内集成电路龙头企业，公司CMP装备在出厂前均已完成相关检测，但机台抵达客户现场后，仍需开展安装调试与工艺验证工作。 当前，人工智能、高性能计算等领域快速发展，有力带动先进制程、先进封装及芯片堆叠等需求持续提升。CMP作为实现纳米级表面平整度控制的核心工艺，在先进逻辑、先进存储及先进封装等领域的应用场景与工艺需求不断拓展。目前，公司CMP装备主力机型及新一代产品可全面适配集成电路、功率半导体、三维集成与先进封装、化合物半导体、新型显示、衬底材料等主流应用场景，已批量进入国内先进制程大生产线。 |
